IGBT是由BJT(双极型三极管)和MOSFET组成的全控电压驱动的功率半导体,具有MOSFET开关速度快、输入阻抗高、控制功率小、驱动电路简单和开关损耗小等特点,也具有BJT导通电压低、通态电流大等优点,非常适合高压、大电流和高速等应用场景。
IGBT的理论研究在20世纪60年代就已出现,直到80年代末期第一代IGBT产品PT-IGBT问世。不过由于第一代IGBT导通电阻和功耗较高,并联使用时容易造成器件短路,因此未能普及。90年代初英飞凌的前身西门子半导体部门开发出了NPT-IGBT即非穿通型IGBT,其与PT-IGBT的差别是以低掺杂的N-基区作为衬底,这样N-型衬底中的电场沿着集电极方向线性降低,也不再"穿通"N型衬底,因此被称为"非穿通"IGBT。此外NPT-IGBT采用薄硅片技术,以离子注入发射区替代高复杂、高成本的厚层高阻外延,可降低生产成本,兼具了成本与性能的优势。N-衬底必须设计得相对较厚,以便承受所有阻断电压,因此N-基区的损耗成为IGBT总损耗的主要部分。
电场截止型FS-IGBT相比NPT-IGBT,在N-基区衬底和P发射极中间增加了电场终止层,因此N-衬底的厚度可以降低。在反向阻断时如果电压较高,电场渗入到N-型衬底后线性降低,终止层可以截止剩余的电场,形成类似于PT-IGBT内的梯形电场分布。不过无论是PT/NPT-IGBT还是FS-IGBT,其均为平面栅极结构,载流子的浓度会从集电极到发射极逐渐降低,因此影响拖尾电流和关断损耗等。沟槽栅IGBT(Trench-IGBT)是将沟道变到垂直面,基区PIN效应增强,栅极附近载流子浓度增大从而提高电导调制效应,降低了导通电阻,为增加长基区厚度、提高耐压创造了条件,也是高耐压、大电流IGBT采用的主要技术。沟槽栅IGBT的载流子浓度从集电极到发射极是逐步提高的,而诸如NPT-IGBT等平面型的则相反,更高的载流子密度有利于降低通态损耗。
综上所述,PT, NPT,FS 型IGBT主要区别可以归纳为下表
PT |
NPT |
FS | |
器件厚度 |
高 |
中 |
低 |
阻断电压 |
低 |
中 |
高 |
起始衬底材料 |
P+(CZ直拉单晶硅) |
N- (区熔单晶硅) |
N-(区熔单晶硅) |
电场形状 |
梯形 |
三角形 |
梯形 |
基区载流子寿命 |
低 |
高 |
高 |
拖尾电流 |
低 |
高 |
低 |
发射极效率 |
高 |
中 |
低 |
少子寿命控制技术 |
需要 |
不需要 |
不需要 |
温度系数 |
负 |
正 |
正 |
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