TDK技術注釋：壓力傳感器元件—壓力測量方法

壓阻傳感器的高精度及其測量絕對壓力、表壓和壓差的能力使其在廣泛的用途中得到了各種應用。

對於工業設備和機械，壓力傳感器提供的信息可以用於最有效地操作液壓或氣動設備，進而與新的

工業4.0標準聯繫在一起。

汽車對燃料效率和減少有害排放的要求越來越高，需要長期穩定和高度精確的傳感器。除了介質電

阻外，一些用途要求壓力傳感器具有抗凍性，但最重要的是傳感器需要在整個壽命期間提供可靠的

信號。

所有的用途都對壓力模具的獨特特性提出了越來越高的要求，需要在模具水平上具有特定的設計特

點。TDK的壓力傳感器產品系列的開發重點是提高靈敏度和以較小的模具尺寸提供高性能。此外，

還要特別注意介質電阻和易處理能力的具體特點。 

                                                           壓阻壓力傳感方法

                                                                       壓阻壓力測量

在真空下將玻璃粘合到矽上，從而產生對照真空。被測量介質與壓力傳感器元件晶片前側的有源電

子元件接觸。


                                                                                表1 : 絕對壓力測量—前側

對於潮濕或腐蝕介質，使用附加的玻璃蓋在前側形成一個對照室。介質應用於背側入口。

                                                                               表2 : 絕對壓力測量—背側

表壓或壓差測量測量前側和背側之間的差異。較高的前側壓力引起的壓差導致輸出信號的正變化。

較高的背側壓力導致輸出信號的負變化。

                                                                                        表3 : 表壓和壓差測量