數十年來，振盪器和時鐘始終依靠石英晶體來產生穩定的參考頻率。晶體在許多應用中表現出十分優異的性能。但十年前，使用MEMS諧振器代替石英晶振的微機電系統（Microelectromechanical System，MEMS）技術進入了市場，並迅速受到廣泛的關注。基於MEMS的時序器件兼具高可靠性、擴展