英飛凌推出基於MEMS的整合式先進超音波感測器，賦能新型工業和醫療應用場景

英飛凌在開發電容式微機械超聲波傳感器（CMUT）技術方面取得重大進展。憑藉這項技術，公司推出首款高度整合的單晶片解決方案，該方案基於微機電系統（MEMS）的超音波感測器，擁有更小的佔板面積以及更強大的性能和功能，可廣泛用於開發新型超音波應用以及改進消費電子、汽車工業與醫療技術領域的現有應用。

採用eWLB封裝的CMUT

英飛凌的超音波技術可以實現很高的信噪比和整合度因此我們認為該器件代表著產業的一大突破。我們希望利用這項技術開發出一個服務於不同產業多種應用場景的產品平台。

埃曼努埃萊·博迪尼

英飛凌科技高級總監

與依靠材料本身變形的傳統壓電體材料不同，CMUT透過微加工半導體薄膜的偏轉來傳輸和檢測超聲波。憑藉這一原理再加上小尺寸、低功耗和高性能的特點，該器件能夠增強各種超聲波應用。與單管解決方案相比，英飛凌的MEMS和ASIC整合技術可將背景噪音降低至同等尺寸傳統壓電陶瓷材料的二十分之一，並將絕對信號增強一千倍。憑藉在半導體設計和製造領域的專業經驗，英飛凌能將先進技術應用於從消費電子到醫療設備等多個行業。

   改進固態觸控按鈕

英飛凌的CMUT技術可在不使表面變形的情況下，在玻璃甚至金屬等任何固體材料下實現固態觸控按鈕。這為傳統的機械按鈕提供了更加耐用、可靠的替代方案，降低磨損風險，延長設備的整體使用壽命。與可能受濕度和溫度等環境因素影響的電容式觸控按鈕相比，基於CMUT的觸控按鈕完全與水相容，並具有高電磁相容性（EMC）。由於該技術縮小了按鈕的尺寸，因此可以整合至從智慧型手機到工業控制面板等各種設備，例如能將觸控按鈕安裝在手機金屬框架下或取代汽車門把手，以實現整潔的設計。

   液位感應

英飛凌的CMUT可以讓一些需要液位感測的家用電器設備受益。CMUT具有多項優勢，包括可持續測量填充液位、低功耗，以及能輕鬆且無損地安裝在水箱底部下方。由於接觸式電極可能會被腐蝕，因此最後一點對於測量洗衣機或洗碗機中的化學物質等非常重要。

   先進醫療應用

CMUT技術還可用於開發使用超音波技術的創新醫療設備，例如用於生命徵象監測、健康追蹤以及非侵入式醫療診斷的穿戴式設備。藉助CMUT技術，這些設備能進行連續監測和回饋，而非僅限於單次測量。因此能夠更早地發現潛在的健康問題，並提升患者的治療效果。由於尺寸小、功耗低，它們非常適用於穿戴式裝置和定點照護應用。